משאבת ואקום עם בורג ללא שמן של InPower פועלת באמצעות רוטור הנעה ומונע מסתובב כדי להגדיל את קטע היניקה האטום לשאיפת גז. לאחר שהגז הנשאב ייכנס לתא המשאבה, החלק האטום יעבור מקצה היניקה לקצה הפריקה יחד עם סיבוב הרוטור הנעה והמונע, הלחץ עולה בהתמדה ואין תופעת פליטה ביניים. כאשר חלל אטום מחובר לפתח הפריקה, הגז במעבר הפריקה הוא תגובה חזרה לתא המשאבה, מה שגורם לעליית לחץ הגז והטמפרטורה בתא המשאבה, ויוצר רעש של זרימת אוויר. כשהמשאבה ממשיכה לעבוד, נפח החלל האטום מתחיל להיות קטן יותר ויותר והגז ב- תא המשאבה משוחרר ברציפות. יש שימון שמן חינם לתא המשאבה. אז זה יכול לקבל ואקום נקי. אנטי קורוזיה צריך להיעשות כאשר משאבת ואקום בורגית יונקת גזים קורוזיביים.
מאפיינים:
מבנה רוטור מורכב יותר, דרישות דיוק גבוהות יותר, עיבוד רוטור קשה יותר וזמן עיבוד ארוך יותר; במקביל, משאבת ואקום עם בורג עופרת משתנה עם כוח ריצה קטן יותר, רעש נמוך יותר כמו גם טמפרטורה נמוכה יותר של הפעלת המשאבה.
inPower משאבת ואקום עם בורג ללא שמן פרמטרים טכניים:
דגם: LGB30/50/70/110/150/180/200/220/270/300/360/400/500
ואקום אולטימטיבי: פחות או שווה ל-1Pa
מהירות 50 הרץ:30-500 ליטר/שניה
מהירות 60 הרץ:36 - 600 ליטר/שניה
|
דֶגֶם |
LGB30 |
LGB50 |
LGB70 |
LGB110 |
LGB150 |
LGB180 |
LGB200 |
LGB220 |
LGB270 |
LGB300 |
LGB360 |
LGB400 |
LGB500 |
||
|
SPEED(50Hz) |
L/s |
30 |
50 |
83 |
110 |
150 |
180 |
200 |
230 |
270 |
300 |
360 |
360 |
500 |
|
|
m3/h |
110 |
180 |
300 |
400 |
540 |
650 |
720 |
830 |
970 |
1080 |
1300 |
1500 |
1800 |
||
|
ואקום אולטימטיבי (50 הרץ) |
אבא |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
|
|
לחץ פליטה מקסימלי |
בַּר |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.5 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
|
|
POWER(50Hz) |
Kw |
4 |
4 |
5.5/7.5 |
11 |
15 |
15 |
18.5 |
18.5 |
22 |
30 |
37 |
37 |
37 |
|
|
מהירות מנוע (50 הרץ) |
סל"ד |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
|
|
לְחַבֵּר |
IN |
מ"מ |
50 |
50 |
65 |
65 |
100 |
100 |
150 |
150 |
150 |
150 |
150 |
150 |
150 |
|
הַחוּצָה |
מ"מ |
40 |
40 |
65 |
65 |
80 |
80 |
100 |
100 |
100 |
100 |
100 |
100 |
100 |
|
|
מים |
זְרִימָה |
ליטר/דקה |
6 |
6 |
10 |
15 |
20 |
20 |
25 |
25 |
28 |
28 |
28 |
28 |
28 |
|
לַחַץ |
MPa |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
|
|
לְחַבֵּר |
G3/8" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
||
|
שיטת קירור |
אוויר/מים |
אוויר/מים |
מים |
מים |
מים |
מים |
מים |
מים |
מים |
מים |
מים |
מים |
מים |
מים |
|
|
רַעַשׁ |
dB |
75 |
75 |
75 |
76 |
76 |
78 |
78 |
78 |
80 |
80 |
85 |
85 |
85 |
|
|
מִשׁקָל |
ק"ג |
310 |
310 |
475 |
570 |
840 |
840 |
1200 |
1220 |
1250 |
1300 |
1350 |
1380 |
1400 |
|
|
דרישות מיוחדות |
על פי הדרישות, ניתן להגדיר אותו עם תדר משתנה, אנטי קורוזיה, חסין פיצוץ וכו' |
||||||||||||||
הוא מתאים באופן אידיאלי לרוב היישומים עם גרסאות ספציפיות המותאמות לשווקים הכימיים והתעשייתיים, עם התמקדות מיוחדת בשווקי הכימיקלים והתרופות העדינים.
מצב ייצור:
inPower LGB משאבת ואקום נטולת שמן בורג אזור יישום:
ציוד מטרולוגיה ובדיקה:
מערכות ואקום בכלי מטרולוגיה ופיקוח המשמשים בייצור מוליכים למחצה דורשות משאבות אמינות לפינוי חדרים ולהבטחת מדידות מדויקות. משאבות בורג יבשות מספקות את ביצועי הוואקום הדרושים ליישומים אלה.
השתלת יונים:
משאבות בורג יבשות חיוניות ליצירה ולשמירה על רמות הוואקום הגבוהות הדרושות בציוד להשתלת יונים, המשמש להחדרת אטומי דופנט לחומרים מוליכים למחצה כדי לשנות את התכונות החשמליות שלהם.
צילום:
בתהליך הפוטוליתוגרפיה, משאבות בורג יבש עוזרות לפנות את תא כלי החשיפה, ומבטיחות העברה מדויקת של דפוסים על פרוסות מוליכים למחצה במהלך תהליך ייצור המוליכים למחצה.
מחקר ופיתוח:
משאבות בורג יבשות משמשות גם במעבדות מחקר ופיתוח בתעשיית המוליכים למחצה לבדיקת תהליכים, חומרים וציוד חדשים בתנאי ואקום מבוקרים.
תגיות פופולריות: משאבת ואקום בורג ללא שמן, סין יצרנים, ספקים, מפעל משאבת ואקום בורג ללא שמן
