משאבת ואקום InPower Dry Vane המשמשת בתעשיית המוליכים למחצה ליצירת סביבת ואקום נקייה ויבשה. למצוא מגוון רחב של יישומים בתעשיית המוליכים למחצה בשל הניקיון, האמינות והיעילות שלהם. משאבות אלו חיוניות לתהליכים כמו שקיעת אדים כימית, שקיעת אדים פיזית, השתלת יונים ותחריט.

מאפיינים:

משאבת ואקום משבשבת יבשה היא סוג של משאבת ואקום המשלבת את היתרונות של טכנולוגיית בורג יבש עם קירור מים כדי לשפר את הביצועים והיעילות. היא מציעה פתרון אמין, יעיל ובעל תחזוקה מועטה ליישומי ואקום תובעניים הדורשים גם פעולה יבשה וגם פיזור חום יעיל.

דגם: LGB30/50/70/110/150/180/200/220/270/300/360/400/500

ואקום אולטימטיבי: פחות או שווה ל-1Pa

מהירות 50 הרץ:30-500 ליטר/שניה

מהירות 60 הרץ:36 - 600 ליטר/שניה

דֶגֶם			LGB30	LGB50	LGB70	LGB110	LGB150	LGB180	LGB200	LGB220	LGB270	LGB300	LGB360	LGB400	LGB500
SPEED(50Hz)		L/s	30	50	83	110	150	180	200	230	270	300	360	360	500
SPEED(50Hz)		m³/h	110	180	300	400	540	650	720	830	970	1080	1300	1500	1800
ואקום אולטימטיבי (50 הרץ)		אבא	5	5	5	5	5	5	5	5	5	5	5	5	5
לחץ פליטה מקסימלי		בַּר	1.2	1.2	1.2	1.2	1.2	1.2	1.5	1.2	1.2	1.2	1.2	1.2	1.2
POWER(50Hz)		Kw	4	4	5.5/7.5	11	15	15	18.5	18.5	22	30	37	37	37
מהירות מנוע (50 הרץ)		סל"ד	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880
לְחַבֵּר	IN	מ"מ	50	50	65	65	100	100	150	150	150	150	150	150	150
לְחַבֵּר	הַחוּצָה	מ"מ	40	40	65	65	80	80	100	100	100	100	100	100	100
מים	זְרִימָה	ליטר/דקה	6	6	10	15	20	20	25	25	28	28	28	28	28
	לַחַץ	MPa	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35
	לְחַבֵּר		G3/8"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"
שיטת קירור		אוויר/מים	אוויר/מים	מים	מים	מים	מים	מים	מים	מים	מים	מים	מים	מים	מים
רַעַשׁ		dB	75	75	75	76	76	78	78	78	80	80	85	85	85
מִשׁקָל		ק"ג	310	310	475	570	840	840	1200	1220	1250	1300	1350	1380	1400
דרישות מיוחדות		על פי הדרישות, ניתן להגדיר אותו עם תדר משתנה, אנטי קורוזיה, חסין פיצוץ וכו'

משאבת ואקום משאבת ואקום יבשה inPower אזור יישום:

ייצור מוליכים למחצה:

בתהליכי ייצור מוליכים למחצה כגון CVD, PVD, השתלת יונים ותחריט, משאבות ואקום עם בורג יבש מקורר במים עוזרות לשמור על רמות הוואקום הנדרשות תוך מתן פיזור חום יעיל כדי להבטיח ביצועים עקביים.

תצהיר סרט דק:

משאבות בורג יבש מקורר במים משמשות בטכניקות של שקיעת סרט דק כמו קיצוץ ואיוד, כאשר בקרת ואקום מדויקת וניהול חום חיוניים להנחת סרטים דקים אחידים על מצעים.

תהליכי טיפול בחום:

תעשיות המעורבות בתהליכי טיפול בחום, כגון מטלורגיה וחלל, מסתמכות על משאבות ואקום יבשות מקוררות במים כדי ליצור סביבות ואקום עבור חישול, הלחמה וטיפולים אחרים בטמפרטורה גבוהה תוך שמירה על קרירה של המערכת.

עיבוד כימי ופרמצבטי:

משאבות בורג יבש מקורר במים ממלאות תפקיד מכריע ביישומי עיבוד כימיים שבהם שמירה על ואקום נקי ויבש נחוצה לתגובות, זיקוק ותהליכי שחזור ממס.

מחקר ופיתוח:

מעבדות ומתקני מחקר בתעשיות שונות משתמשות במשאבות ואקום יבשות מקוררות במים לבדיקה וניסויים, ומספקות תנאי ואקום אמינים ללימוד חומרים, תהליכים וציוד.

תגיות פופולריות: משאבת ואקום משבצות יבשות, יצרנים, ספקים, מפעלים של משאבת ואקום משבצות יבשות